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    微型传感器
    微型传感器

    微型传感器是指那些至少有一个物理尺寸在亚毫米量级的传感器。就单一传感器而言,微传感器是指尺寸微小的传感器;就集成的传感器而言,微传感器是指将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上而形成的集成的传感器。


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